Efter syfte
Tryckkänsliga och kraftkänsliga sensorer, positionssensorer, vätskenivåsensorer, energiförbrukningssensorer, hastighetssensorer, accelerationssensorer, strålstrålningssensorer, termiska sensorer.
av princip
Vibrationssensor, fuktsensor, magnetsensor, gassensor, vakuumsensor, biologisk sensor etc.
Efter utsignal
Analog sensor: Omvandla den uppmätta icke-elektriska kvantiteten till en analog elektrisk signal.
Digital sensor: Konvertera den uppmätta icke-elektriska kvantiteten till en digital utsignal (inklusive direkt och indirekt konvertering).
Pseudo-digital sensor: omvandla den uppmätta signalkvantiteten till frekvenssignal eller kortfridssignalutgång (inklusive direkt eller indirekt konvertering).
Switchsensor: När en uppmätt signal når ett visst tröskelvärde uttalar sensorn en inställd lågnivå- eller högnivåsignal i enlighet därmed.
Enligt tillverkningsprocessen
Sensor (bild 3)
Sensor (bild 3)
Integrerade sensorer tillverkas med hjälp av standardprocessteknik för produktion av kiselbaserade halvledarintegrerade kretsar. Vanligtvis är en del av kretsen för preliminär bearbetning av signalen under provning också integrerad på samma chip.
Tunnfilmssensorn bildas genom att deponera en tunn film av motsvarande känsliga material på det dielektriska substratet (substratet). Vid användning av en hybridprocess kan delar av kretsen också tillverkas på detta substrat.
Den tjocka filmsensorn görs genom att täcka uppslamningen av motsvarande material på det keramiska substratet, som vanligtvis är tillverkat av Al2O3, och sedan värmebehandlas för att bilda den tjocka filmen.
Keramiska sensorer produceras med hjälp av standardkeramiska processen eller en av dess varianter (sol, gel, etc.).
Efter lämpliga förberedande operationer sintrast det bildade elementet vid hög temperatur. Det finns många gemensamma egenskaper mellan de två processerna, tjockfilms- och keramiska sensorer, och i vissa avseenden kan tjockfilmsprocessen betraktas som en variation av keramikprocessen.
Varje processteknik har sina egna fördelar och nackdelar. På grund av de låga kapitalinvesteringar som krävs för forskning, utveckling och produktion, liksom sensorparametrarnas höga stabilitet, är användningen av keramiska och tjocka filmsensorer rimlig.
Genom mätning
Fysiska sensorer tillverkas genom att använda egenskaperna hos vissa fysiska egenskaper hos de uppmätta ämnena för att förändras avsevärt.
Kemiska sensorer är gjorda av känsliga element som kan omvandla kemiska mängder som sammansättning och koncentration av kemiska ämnen till elektriska mängder.
Biosensorer är sensorer som använder egenskaperna hos olika organismer eller biologiska ämnen för att upptäcka och identifiera kemiska komponenter i organismer.
beroende på dess sammansättning
Grundläggande sensor: Det är den mest grundläggande enda konverteringsenheten.
Kombinerad sensor: Det är en sensor som består av en kombination av olika enkonverteringsenheter.
Applikationssensor: Det är en sensor som består av en grundläggande sensor eller en kombinerad sensor och andra mekanismer.
Efter åtgärdsformulär
Enligt åtgärdsformen kan den delas in i aktiva och passiva sensorer.
Aktiv sensor har åtgärdstyp och reaktionstyp. Denna typ av sensor kan skicka en viss detektionssignal till det uppmätta objektet, upptäcka förändringen av detektionssignalen i det uppmätta objektet eller generera någon form av detekteringssignal i det uppmätta objektet. effekt för att bilda en signal. Sättet att upptäcka ändringen av detekteringssignalen kallas åtgärdstypen, och sättet att upptäcka svaret och bilda signalen kallas reaktionstypen. Radar- och radiofrekvensområdesdetektorer är aktiva exempel, medan fotoakustiska effektanalysatorer och laseranalysatorer är reaktiva exempel.
Passiva sensorer tar bara emot den signal som genereras av själva det uppmätta objektet, såsom infraröda strålningstermometrar, infraröda kameror och så vidare.
